1 简介

真空(kong)泵(beng)是一种旋转式变(bian)容真空(kong)泵(beng)须有前级(ji)泵(beng)配合(he)方可使用在较宽的压力范围(wei)内有较大的抽速对被抽除气体(ti)中含有灰尘和水(shui)蒸(zheng)汽(qi)不敏感广泛(fan)用于冶金、化工、食品、电子(zi)镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力范围内有较大的(de)抽速；

(2)转(zhuan)子具有(you)良好的几何对称性，故振动小，运转(zhuan)平稳。转(zhuan)子间(jian)(jian)及转(zhuan)子和壳体间(jian)(jian)均有(you)间(jian)(jian)隙，不用润滑，摩擦损失小，可大(da)大(da)降低驱动功(gong)率，从而可实现较高转(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用油密(mi)封(feng)和润滑(hua)，可减少油蒸气对(dui)真空(kong)系统的污染；

(4)泵腔内(nei)无压缩，无排气阀。结构简单(dan)、紧(jin)凑，对被抽气体中(zhong)的灰尘和水(shui)蒸汽不敏感；

(5)压缩比较(jiao)低，对氢气抽气效果差；

(6)转子(zi)表(biao)面(mian)为形状较为复杂的(de)曲线柱面(mian)，加(jia)工和检查比较困(kun)难。

3 结构

（1） 泵总体结构型(xing)式

真空泵(beng)的泵(beng)体的布置结构决定了(le)泵(beng)的总体结构。

立式结构(gou)的进(jin)、排气口(kou)水平设置，装配和连接管(guan)路都比较(jiao)方(fang)便。但泵的重心较(jiao)高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧(wo)式(shi)泵(beng)(beng)的进气(qi)口(kou)在上，排(pai)(pai)气(qi)口(kou)在下。有时为(wei)了真(zhen)空系统(tong)管道安装连接方便，可将排(pai)(pai)气(qi)口(kou)从(cong)水平方向接出(chu)，即进、排(pai)(pai)气(qi)方向是(shi)相互垂直的。此时，排(pai)(pai)气(qi)口(kou)可以(yi)从(cong)左(zuo)或右两个方向开口(kou)，除接排(pai)(pai)气(qi)管道一(yi)(yi)端(duan)外，另(ling)一(yi)(yi)端(duan)堵死或接旁通阀(fa)。这(zhei)种泵(beng)(beng)结(jie)(jie)构重(zhong)心(xin)低(di)，高速(su)运转时稳定性好。一(yi)(yi)般(ban)大、中型泵(beng)(beng)多采用此种结(jie)(jie)构。

泵的两(liang)个转(zhuan)子(zi)轴与(yu)水平(ping)面垂直安装(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)配间隙容易控制，转(zhuan)子(zi)装(zhuang)配方便，泵占地(di)面积小。但泵重心较(jiao)高且齿轮(lun)拆装(zhuang)不便，润滑机构(gou)也相对复杂。

（2） 泵(beng)的传(chuan)动方(fang)式

真空泵的两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)是通过(guo)(guo)一(yi)对(dui)(dui)高精度齿(chi)轮来实现其相对(dui)(dui)同(tong)(tong)步运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的。主(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)通过(guo)(guo)联轴(zhou)(zhou)(zhou)器与电(dian)机(ji)联接。在(zai)传(chuan)(chuan)动(dong)(dong)结(jie)构布置上主(zhu)要有以下两种(zhong)：其一(yi)是电(dian)动(dong)(dong)机(ji)与齿(chi)轮放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)的同(tong)(tong)一(yi)侧如图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)由电(dian)动(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)轮直接传(chuan)(chuan)过(guo)(guo)去带动(dong)(dong)，这样主(zhu)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)(zhou)的扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形小(xiao)，则两个(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间(jian)的间(jian)隙(xi)不会因主(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)的扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形大(da)(da)而改变(bian)，故(gu)使(shi)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之(zhi)间(jian)的间(jian)隙(xi)在(zai)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)(guo)程中均(jun)匀。这种(zhong)传(chuan)(chuan)动(dong)(dong)方式的最大(da)(da)缺点是：a.主(zhu)动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)(zhou)上有三个(ge)轴(zhou)(zhou)(zhou)承，增加了泵的加工和装配难度，齿(chi)轮的拆装及调整也不便；b.整体结(jie)构不匀称，泵的重(zhong)心(xin)偏(pian)向(xiang)电(dian)动(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)轮箱一(yi)侧。

    极(ji)限(xian)真空(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)真空(kong)(kong)(kong)泵的(de)(de)(de)一(yi)个重要参数，是(shi)(shi)(shi)反应泵抽气(qi)(qi)能力的(de)(de)(de)特性值，是(shi)(shi)(shi)与(yu)真空(kong)(kong)(kong)泵相关的(de)(de)(de)一(yi)个数值，不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)真空(kong)(kong)(kong)泵可以有不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)“极(ji)限(xian)真空(kong)(kong)(kong)”度。而“理论真空(kong)(kong)(kong)”是(shi)(shi)(shi)理论研究时的(de)(de)(de)一(yi)个概念，是(shi)(shi)(shi)排除(chu)各种实际因素的(de)(de)(de)影响而提炼出的(de)(de)(de)一(yi)种最理想(xiang)的(de)(de)(de)真空(kong)(kong)(kong)状态。真空(kong)(kong)(kong)容器经(jing)充分(fen)抽气(qi)(qi)后(hou)，稳定在(zai)某一(yi)真空(kong)(kong)(kong)度，此真空(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)限(xian)真空(kong)(kong)(kong)。通常真空(kong)(kong)(kong)容器须经(jing)12小时炼气(qi)(qi)，再经(jing)12小时抽真空(kong)(kong)(kong)，最后(hou)一(yi)个小时每隔(ge)10分(fen)钟测量一(yi)次，取其10次的(de)(de)(de)平均值为极(ji)限(xian)真空(kong)(kong)(kong)值。